Nordiko 7000 面离子束蚀刻系统

Nordiko 7000面离子束蚀刻系统是一个全自动的大面积设备。

装备一个射频激发离子源,提供低分散离子束,15cm-25cm直径范围。连接一个工业标准SEMI(半导体制程设备安全准则)MESC(物料和设备标准编码)一致的晶片操作平台,这个系统可以适用于各种不同晶片(最大200mm直径)的生长。终点检查使用次级离子质谱法(SIMS),可以随意地获得各种精确蚀刻应用。

充足的三极管离子加速器提供了较低的离子束分叉。双离子体桥接中和器使电子和离子在明亮表面电量中和。

良好的维修出入口通过全开门。