Nordiko α120

建立在生产射频离子束系统系统20年的经验基础上,Nordiko研制出了α120。这个实验室系统包含一个真空生长舱,安装在格子上的掩护支撑电源供应和电源管理系统。它被设计于大气循环进样。

这个生长腔由一个隔离的真空腔掩护一个面离子束和单盘基片桌。离子源用于发射一个波束,通常是氩离子发射电压为100-600V。在离子束的路径上是一个基片桌,它能提供起辉基片的同轴旋转,在一个可变入射角时也能面向波束的路径。

特征:

紧凑结构——小的空间占用

  • 客户定制
  • 15cm射频离子源
  • 微丝状中性化器
  • 灵活配置工作桌
  • 高性能干式抽气组

可选择特征:

  • 低温抽气
  • 活性气体蚀刻
  • SIMS 终点检查
  • 真空进样锁
  • 自动化

低成本客户定制离子源解决方案